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常規ICP刻蝕的操作流程

點(diǎn)擊量:1267 日期:2023-10-13 編輯:硅時(shí)代

(一)裝片:1,在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標下Stop,切換至Vent ,120s 后打開(kāi) Loadlock;2,涂抹真空油脂:根據片子尺寸大小,在托盤(pán)上涂抹均勻一層油脂;3.放片:放片的時(shí)候要用鑷子輕輕夾住樣片,將樣片一邊貼在油脂上,慢慢地放下另一邊。用鑷子按住樣片一端, 在油脂上稍稍一動(dòng)樣片, 以便趕走樣片與油脂之間的氣泡, 使得樣片與油脂緊密粘在一起。(注意:如果用力過(guò)大,片子可能會(huì )碎裂)。

(二) 抽真空:1,在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標開(kāi)啟小機械泵,預抽L(cháng)oadlock,至真空度到-2 時(shí)可以進(jìn)行刻蝕操作;2,選擇所需加熱模式,根據樣品選擇所需加熱模式Heater or Chiller( 冷卻裝置),設定加熱或冷卻溫度。當溫度與真空度達到要求后進(jìn)入Chamber 界面。

(三)刻蝕:1,根據要求設定程序, 確定工藝參數(氣體流量、ICP功率、RF功率、壓力、溫度、時(shí)間等);2.程序運行時(shí),看起輝是否正常,適當修正匹配功率。

(四)取片:刻蝕完畢后,在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標下Stop,切換至Vent,打開(kāi)Loadlock

(五)去真空油脂:參照光刻工藝操作規范相的去膠工藝步驟操作。結束后,檢測并完成實(shí)驗記錄,移交樣品。

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