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快速退火工藝(二)

點(diǎn)擊量:612 日期:2023-11-17 編輯:硅時(shí)代

鹵素燈管退火(Halogen Lamp Annealing)是一種用燈管作為熱源的退火方式,其特點(diǎn)如下:

高溫:鹵素燈管退火的溫度可以達到1300攝氏度以上,可以快速將材料加熱到所需溫度。

非接觸性:鹵素燈管退火可以在不接觸晶圓的情況下進(jìn)行,減少了對晶圓的污染風(fēng)險。

快速加熱速率:鹵素燈管退火的加熱速度較快,通??梢栽趲酌腌妰韧瓿赏嘶疬^(guò)程,節約了大量的時(shí)間。

均勻性:鹵素燈管退火具有很好的溫度均勻性,可以使材料整體均勻受熱,減少熱應力和溫度差異帶來(lái)的效應。

可控性:鹵素燈管退火可以通過(guò)控制燈管的功率和時(shí)間來(lái)控制溫度和退火時(shí)間,可以根據需要對不同材料進(jìn)行精確的退火處理。

適用性廣:鹵素燈管退火可以適用于多種材料,包括金屬、陶瓷、玻璃等,廣泛應用于電子、光學(xué)、化工等領(lǐng)域。

環(huán)保節能:鹵素燈管退火過(guò)程中無(wú)需使用外部介質(zhì),不會(huì )產(chǎn)生廢氣、廢水和廢渣,以及減少能源消耗。

根據不同用途可選擇不同的退火方式,考慮到成本和安全性等因素,鹵素燈管成為如今最為廣泛的快速退火方式之一,鹵素燈管退火具有快速、均勻、可控的特點(diǎn),可以滿(mǎn)足不同材料的退火需求,是一種常用的熱處理方法。

隨著(zhù)集成電路的發(fā)展,人們對退火材料的性能要求越來(lái)越高,常規的熱退火方法難以滿(mǎn)足這搬要求。因為它難以完全消除缺陷。同時(shí),在熱退火期間,整個(gè)晶片(包括注射層和基底)它們都必須經(jīng)過(guò)高溫處理,這增加了表面污染,特別是長(cháng)時(shí)間高溫熱退火導致明顯的雜質(zhì)再分布。為了使產(chǎn)品獲得更強的性能,人們不斷在退火爐行業(yè)發(fā)展進(jìn)步。從而退火爐的功能也越來(lái)越強大。

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